磊建凈化今天和大家分享了電子半導(dǎo)體廠潔凈車間裝修設(shè)計(jì)施工的一些要求，主要從電子半導(dǎo)體廠潔凈車間的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，潔凈車間建設(shè)的關(guān)鍵難點(diǎn)，以及潔凈車間的供需過(guò)程，潔凈車間管制內(nèi)容以及我們磊建凈化在潔凈車間裝修建造方面的特點(diǎn)和經(jīng)驗(yàn)等五個(gè)方面來(lái)談，那下面就一起來(lái)看看吧！

  潔凈車間裝修工程有其特殊性。對(duì)于這樣的植物，它的特點(diǎn)是非常明顯的。第一個(gè)成本特征是昂貴的。隨著半導(dǎo)體工程的發(fā)展，對(duì)工廠的質(zhì)量要求越來(lái)越高。 TFT廠也是如此。 TFT廠本身的玻璃基板尺寸越來(lái)越大，從最初的一代線到主流的8代線，隨著基本尺寸的大，成本也越來(lái)越高。

  二是建設(shè)周期短。由于半導(dǎo)體廠和TFT廠的特點(diǎn)，投資大，各建設(shè)方盡快進(jìn)行短期生產(chǎn)，獲得投資回報(bào)。作為建設(shè)單位，擺在我們面前的一個(gè)特點(diǎn)就是工期很緊。第三個(gè)特點(diǎn)是質(zhì)量要求非常高。由于電子廠對(duì)工廠的高度依賴，工廠建設(shè)中的事故直接導(dǎo)致產(chǎn)品良率高低。四是復(fù)雜度高。對(duì)于工廠建設(shè)來(lái)說(shuō)，專業(yè)技術(shù)問(wèn)題非常全面，涵蓋了多學(xué)科、多行業(yè)的問(wèn)題，還有管理問(wèn)題。第五個(gè)特點(diǎn)是集成度高，這對(duì)于工廠的建設(shè)具有五個(gè)特點(diǎn)。

  這是一個(gè)典型的半導(dǎo)體工廠或TFT工廠的橫截面圖。我們可以看到它一般分為三個(gè)區(qū)域。從頁(yè)面上看，分為三個(gè)區(qū)域，一個(gè)是下邊界層，一個(gè)是核心區(qū)。所有工程設(shè)備都在核心區(qū)。對(duì)于這三個(gè)工作區(qū)，后面會(huì)為大家簡(jiǎn)單介紹一下建設(shè)順序和內(nèi)容。我們看到這三張圖，反映了較低的技術(shù)夾層，主要是管道的布置，工作層是放置設(shè)備，另一個(gè)是靜壓層。

  對(duì)于重點(diǎn)難點(diǎn)，首先是高空作業(yè)，這是一個(gè)非常明顯的工作特點(diǎn)。對(duì)我們來(lái)說(shuō)，安全和整個(gè)施工都非常困難。我們采用分層操作的構(gòu)建方法。我們首先制作地板層，使地板層以地板層為界面分為上下兩層進(jìn)行施工。

  第二個(gè)問(wèn)題是大規(guī)模精度控制。隨著行業(yè)的發(fā)展，我們正朝著大、精的方向發(fā)展。我們已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了每單位工廠40000平方米，這對(duì)精度是一個(gè)很大的挑戰(zhàn)。如何保證精度也是我們實(shí)施此類項(xiàng)目的難點(diǎn)。我們的做法是指派專業(yè)測(cè)量員。在大面積的情況下，精度應(yīng)控制在要求的實(shí)施范圍內(nèi)。

  第三個(gè)難點(diǎn)是全過(guò)程清潔施工控制。與其他工廠相比，潔凈工廠最大的特點(diǎn)是潔凈控制。清潔控制是從開(kāi)始到結(jié)束的全過(guò)程控制。只有通過(guò)全過(guò)程控制，才能確保所建的廠房是合格的廠房。

  供需的主要實(shí)現(xiàn)給大家介紹一下。對(duì)于廠房建設(shè)和潔凈車間裝修工程建設(shè)，我們一般把潔凈車間裝修作為主控線。首先，我們對(duì)工作面進(jìn)行分析。工作面要求封閉。全廠可作為清潔工程的開(kāi)端。如果不關(guān)閉，也將采取臨時(shí)關(guān)閉，以確保我們的封閉施工操作。夾層樓板安裝完成，標(biāo)志著上下工作面可以同時(shí)進(jìn)行施工。以上工作主要是完成風(fēng)管、支架等的安裝，以下工作主要是工業(yè)管道的操作。這種方法是目前大面積植物的主流施工方法。這種施工方法被證明是非常成功的，可以有效地解決安全問(wèn)題。一種是高空墜落或上下干擾。我們現(xiàn)在看到的圖就是分層操作面的示意圖?；顒?dòng)地板完成后，可分為三層

  第二階段完成后，將進(jìn)入第三階段。進(jìn)入第三階段后，就與上面的階段不同了。主要要求是在二樓工作時(shí)穿特殊的軟底鞋。另一個(gè)是不允許弧焊，只允許氬弧焊。服裝管理第三階段要求工作服干凈。二樓應(yīng)穿室內(nèi)專用軟底鞋。手術(shù)后，一定要干凈。此階段的吸塵器是帶有高效過(guò)濾器的吸塵器。

  三期工程完成后，將轉(zhuǎn)入四期建設(shè)運(yùn)營(yíng)。與第三階段相比，最大的不同是我們要求進(jìn)入無(wú)塵室的工作人員穿干凈的衣服。本階段的主要工作內(nèi)容是完成高效過(guò)濾器和FFU的安裝、FFU的邊界、下層間電力設(shè)備的建設(shè)、電氣設(shè)備的檢查、各種報(bào)警的確認(rèn)。對(duì)于這個(gè)階段，對(duì)干凈衣服的要求非常嚴(yán)格。清潔時(shí)，請(qǐng)使用無(wú)塵的無(wú)塵布。專門(mén)清潔人員用酒精或防靜電清潔液擦洗，并使用高效過(guò)濾器進(jìn)行清潔。

  在最后一個(gè)階段，這個(gè)階段的主要工作是對(duì)潔凈車間的環(huán)境進(jìn)行測(cè)量。全部建設(shè)工作在第四階段完成。五是衡量環(huán)境。這是與第四階段相比的主要區(qū)別。對(duì)于清潔人員來(lái)說(shuō)，不僅要穿干凈的衣服和干凈的鞋子，還要戴干凈的手套和口罩。清潔管理同第四階段。

  人員進(jìn)出控制。我們剛剛介紹過(guò)，全廠設(shè)置了人員入口。我們將在這個(gè)控制入口設(shè)置這樣的區(qū)域。第一個(gè)區(qū)域是換鞋區(qū)。第二個(gè)是更衣區(qū)。第三個(gè)區(qū)域是注冊(cè)區(qū)域。進(jìn)入這三個(gè)區(qū)域后，就可以順利進(jìn)入無(wú)塵車間進(jìn)行施工了。材料也是如此。我們也要求材料清洗后進(jìn)行檢驗(yàn)，檢驗(yàn)后登記，然后進(jìn)入潔凈區(qū)。