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發(fā)布者:磊建凈化
發(fā)布時間:2022-01-11
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10萬級潔凈車間一般適用于電子儀器儀表、計算機房、半導(dǎo)體廠、印刷廠、汽車工業(yè)、航天工業(yè)、光刻、微機制造等行業(yè),除了要空氣潔凈度以外,還要保證達(dá)到除靜電等要求。
一、10萬級潔凈車間溫濕度標(biāo)準(zhǔn)
10萬級無塵車間對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈車間濕度控制在50-70%。配電:潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
無塵車間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。那么10萬級無塵車間作業(yè)環(huán)境有哪些規(guī)定?
10萬級無塵車間作業(yè)環(huán)境規(guī)定如下:
1、無塵車間標(biāo)準(zhǔn)溫度:21℃-25℃,濕度:50%-70%,每天要有溫度表記錄。
2、落塵量檢測每三個月委外檢測并附檢測結(jié)果至公司管理部存檔。
3、作業(yè)員上下班前10分鐘將各自工位環(huán)境進行清潔處理(含加班時間),由主管級人員不定期審核確認(rèn)。
10萬級無塵車間室內(nèi)空氣參數(shù)要求:
(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2 ℃ ,相對濕度為55+5%
(2)新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3 /h。
3)送風(fēng)量大。為了滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬級,送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。
2.十萬級無塵車間工作環(huán)境的標(biāo)準(zhǔn):
十萬級無塵車間對溫濕度無特殊要求時,可以以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20-22℃,夏季24-26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%。需要時可采用宏瑞科技的TH-40溫濕度儀進行檢測。
3.十萬級無塵車間空氣參數(shù)的標(biāo)準(zhǔn):
十萬級非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;為了確保室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量為≥30m3/h,可采用宏瑞科技的CLJ-B330塵埃粒子計數(shù)器檢測無塵車間粒子顆粒數(shù),并根據(jù)ISO14644的規(guī)定進行分級:
二、10萬級潔凈車間換氣次數(shù)
一般情況下,10萬級凈化車間換氣次數(shù)估算為:
十萬級換氣次數(shù)≥15次/小時(一般15-25)
當(dāng)然,這個換氣次數(shù)也有一定的適用條件:
1. 換氣次數(shù)適用于層高小于4米的無塵車間
2. 室人數(shù)少,熱源小時宜采用下限值
3. 大于10萬級的無塵車間換氣次數(shù)不小于12次
而且,不能盲目按照換氣次數(shù)進行設(shè)計風(fēng)量,要考慮房間及工藝余熱、余濕。否則剛開始風(fēng)量也許能滿足溫濕度要求,系統(tǒng)運行一段時間后就不會效果那么好了。