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ISO Class6 & 千級

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ISO Class6 & 千級潔凈室

發(fā)布者:磊建凈化

發(fā)布時間:2022-01-20

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千級潔凈室案例簡介:

承接單位:上海磊建凈化

潔凈等級:千級、 百級

工程定位:浙江***半導(dǎo)體材料有限公司



  潔凈室平面布局:

  潔凈室一般包括潔凈區(qū)、準(zhǔn)潔凈區(qū)和輔助區(qū)三部分。

  潔凈室的平面布置可以有以下幾種方式:

  外廊環(huán)繞式:外廊可以有窗和無窗,兼作參觀和放置一些設(shè)備用,有的在外廊內(nèi)設(shè)值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。

  內(nèi)廊式:潔凈室設(shè)在外圍,而走廊設(shè)在內(nèi)部,這種走廊的潔凈度級別一般都較高,甚至和潔凈室同級。

  兩端式:潔凈區(qū)設(shè)在一邊,另一邊設(shè)準(zhǔn)潔凈和輔助用房。

  核心式:為了節(jié)約用地、縮短管線,可以潔凈區(qū)為核心,上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來,這種方式避開室外氣候?qū)崈魠^(qū)的影響,減少了冷熱能耗,利于節(jié)能



潔凈室裝修實拍



  潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。



  潔凈室的空氣潔凈度,進行下列測試:

  空態(tài)測試:潔凈室已竣工,凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài),室內(nèi)沒有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下進行測試。

  靜態(tài)測試:潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài),工藝設(shè)備已安裝,室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進行測試。

  動態(tài)測試:潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進行測試。無塵室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。


  千級潔凈室潔凈度:

  將不大于0.5微米粒徑的塵埃粒子數(shù)量控制在每立方米3500個以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。




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半導(dǎo)體百級潔凈室裝修