在半導(dǎo)體領(lǐng)域，為了保證硅片及芯片等元件的清潔度，達到國際化的無塵標準，需要完整且品質(zhì)良好的無塵車間潔凈室，而從潔凈室的等級到使用范圍再到具體的客戶要求，生產(chǎn)加工的每個潔凈室都有差異。如墻壁、天花板、風淋室、通風、照明設(shè)備以及裝飾材料等潔凈室的結(jié)構(gòu)要素都需要詳細的規(guī)劃。下面磊建凈化淺談一下半導(dǎo)體無塵車間潔凈度標準和半導(dǎo)體無塵車間潔凈室施工要求。

　　一、半導(dǎo)體無塵車間潔凈度標準

　　潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設(shè)計或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。

　　集成電路芯片工作環(huán)境中指定的氣體清潔度水平取決于集成電路芯片的處理速度。不同的技術(shù)氣體清潔水平取決于環(huán)境污染的機會和組件的潛在常見斷層。

　　例如，無塵車間在集成電路芯片制造的光學(xué)技術(shù)鏈路中，單晶硅晶片暴露于自然的生產(chǎn)中。當環(huán)境污染的可能性很高時，零件的廢物速率將相對較高。類損壞，目前在超大綜合電路芯片的工業(yè)工廠中選擇微環(huán)境，以清理，保護生產(chǎn)過程中心城市，并在微環(huán)境危害中達到氣體清潔度和環(huán)境控制要求。在國家標準ISO14644-4中，B(參考)引入了“微電子技術(shù)純化室示例”。

　　無塵車間桌子上辦公區(qū)域的公共生產(chǎn)和加工的核心區(qū)域是一個人和/或自我溶解設(shè)備生產(chǎn)芯片的區(qū)域。為了確保工作的區(qū)域區(qū)域沒有環(huán)境污染，通常會選擇一個道路流或微環(huán)境來保護人和暴露的商品。公共設(shè)施區(qū)域是插座的一部分，沒有設(shè)置芯片生產(chǎn)線的操作員。該區(qū)域的運作通常不暴露于自然的生產(chǎn)。辦公區(qū)通?？拷苍O(shè)施。高速服務(wù)區(qū)域是沒有產(chǎn)品和生產(chǎn)線設(shè)備的區(qū)域，通?？拷ぷ鲄^(qū)和公共設(shè)施區(qū)域。

　?、僭趯嵤┳罴训脑O(shè)計條件之前，應(yīng)詳細說明ISO擁有的水平。

　?、诒砻鎸又械男L類型表示純化室的氣體特性：u=一個-路流;n，非一條路流;M=混合流形式(U和N的混合物)。

　　③平均旋風速率通常適用于房間中的單向流。單側(cè)旋風速度需要在測量區(qū)域的形狀下加熱的溫度。單側(cè)流速不指濁度的正風。

　?、芊沁吘壛髁亢突旌狭髁吭谝恍r內(nèi)使用自然通風的頻率。使用適用于建筑物高度3.M的無塵房間的系數(shù)排放空氣量建議值。

　?、葑⒁鈬栏竦拿芊鈱Σ?。

　?、尬蛐L天然屏障適用于合理的污染物分離和治療自然保護區(qū)。

　　實際上，在此階段，全球所有國家的綜合電路制造企業(yè)。生產(chǎn)者根據(jù)產(chǎn)品類型進行處理。選擇了生產(chǎn)過程的技術(shù)。生產(chǎn)線設(shè)備。原材料采購和制造無塵車間的社會經(jīng)驗和經(jīng)濟發(fā)展證實，綜合電路清潔廠(房屋)的過程(房屋)需要空氣清潔。等級。根據(jù)統(tǒng)計數(shù)據(jù)，集成電路制造企業(yè)。制造商在計劃和建造集成電路芯片車間凈化項目時選擇空氣清潔水平。凈化室的木板和空間規(guī)劃?？諝鈨艋O(shè)備。凈化室建筑物和其他技術(shù)規(guī)格。獨特的工程措施。每個都有。不同的。

　　二、半導(dǎo)體無塵車間潔凈室施工要求

　　半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)無塵車間潔凈室、集成電路無塵車間潔凈室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。

　　1、電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)。

　　2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

　　3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

　　4、電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值。

　　5、補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

　　6、保證供給無塵車間潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

　　7、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護，寒冷地區(qū)，新風系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。