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芯片制造業(yè)工廠需要幾級無塵車間及無塵車間等級劃分標準_磊建凈化

發(fā)布者:磊建凈化

發(fā)布時間:2023-03-03

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  由于電子、芯片產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。芯片的生產(chǎn)環(huán)境及設(shè)備的要求是極高的,那芯片制造業(yè)工廠需要幾級無塵車間呢?及無塵車間等級劃分標準有哪些呢?


芯片制造業(yè)工廠需要幾級無塵車間及無塵車間等級標準_磊建凈化


  一、芯片制造業(yè)工廠需要幾級無塵車間


  芯片生產(chǎn)無塵車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。因此芯片制造業(yè)工廠需要萬級及以上的無塵車間活無塵室。


  芯片制造業(yè)萬級無塵車間的潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設(shè)計或規(guī)范受控,一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)【推薦使用溫濕度變送器實時監(jiān)測潔凈環(huán)境的溫濕度】,這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。另外該類潔凈室對靜電要求嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。


芯片制造業(yè)工廠需要幾級無塵車間及無塵車間等級劃分標準_磊建凈化


  1、萬級芯片無塵車間參數(shù)要求換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次;100≥500次;

  2、壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;

  3、平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;

  4、溫度:冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃;

  5、濕度:45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

  6、噪聲:≤65dB(A);

  7、照度:300LX;

  8、新風補充量是總送風量的10%-30%。


  芯片萬級無塵車間凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動,伴有回流或渦流,不同等級的凈化車間,主要是依靠單位時間內(nèi)所送風量的不同來實現(xiàn)。


  電子芯片無塵車間潔凈有著嚴格的潔凈度要求,可想而知,其設(shè)計施工也是相當復(fù)雜的。此外,潔凈度越高,建造費用也越高。例如100級單向流潔凈室,僅室內(nèi)裝修與空調(diào)潔凈系統(tǒng)的建造費用就要萬元或以上一平方。再加上消防、三廢、供配電和自控系統(tǒng),建造費用就要更高了。


芯片制造業(yè)工廠需要幾級無塵車間_磊建凈化


  二、無塵車間等級劃分標準


  不同潔凈度級別的無塵車間各適用哪些行業(yè)

  無塵車間根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素的不同,可以分為若干等級。下面按照無塵車間不同的潔凈度級別整理出其所對應(yīng)的適用行業(yè)類別,希望能夠給您帶來幫助。


  100級:很多人認為,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。


  1000級:這個級別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。


  10000級:萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級無塵車間在醫(yī)藥工業(yè)中也很常用。


  100000級:十萬級無塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)藥工業(yè)也常常使用這一級無塵車間。


芯片制造業(yè)工廠需要幾級無塵車間及無塵車間等級劃分_磊建凈化