半導體潔凈車間建設百級潔凈室安裝FFU施工工藝設計要求及流程

　　百級潔凈室的空氣潔凈度為100個顆粒/立方英尺，也就是空氣中直徑大于0.5微米的顆粒數(shù)不超過100個。百級潔凈是通常用于半導體醫(yī)療、制藥、食品加工等領域的潔凈車間，要求空氣中的微粒含量也比較低，以保證半導體等產品質量。下面淺談一下半導體潔凈車間建設百級潔凈室安裝FFU施工工藝設計要求及流程。

　　半導體潔凈車間潔凈室房間的圍護結構一般由金屬墻板制成，一般建成后，布局不能隨意改變，但由于工藝的不斷更新，原有的潔凈車間潔凈度布局無法滿足新工藝的需要，導致潔凈室潔凈車間因產品更換需要頻繁更換，浪費了大量的財力物力。

　　半導體潔凈車間潔凈室施工可通過增加或減少FFU凈化單元的數(shù)量，可以局部調整房間的清潔布局，以滿足過程的變化，F(xiàn)FU凈化單元有自己的動力，風口和燈具可以節(jié)省大量的投資，這對于通常集中送風的凈化系統(tǒng)來說幾乎是不可能的。

　　一、半導體潔凈車間百級潔凈室采用FFU風機過濾單元設計方案。

　　半導體潔凈車間百級區(qū)天花板上覆蓋著FFU風機凈化單元。清潔空氣從百級區(qū)側墻下部的高架地板或進入垂直風管，通過垂直風管進入靜壓箱，通過ffu風機凈化單元進入室內，達到循環(huán)效果。

　　半導體潔凈車間百級區(qū)上部ffu風機凈化單元垂直送風，百級區(qū)ffu風機凈化單元與吊架之間的泄漏對百級區(qū)潔凈度影響較小。

　　ffu風機凈化單元重量輕，采用罩入式安裝方式，使安裝，更換，維修更加方便。

　　縮短施工工期，ffu風機過濾單元系統(tǒng)節(jié)能顯著，解決了空調機房巨大，空調機組運行成本增加的缺點，ffu獨立的結構特點可以隨時調整，彌補潔凈室機動性不足，解決了生產過程不適合調整的缺點。

　　半導體潔凈車間潔凈室ffu循環(huán)系統(tǒng)的使用不僅節(jié)省了運行空間，清潔安全性高，運行成本低，操作靈活性高，系統(tǒng)可以在不影響生產的情況下隨時升級調整，可以很好地滿足半導體潔凈車間潔凈室的需求，因此，在半導體等制造業(yè)中使用ffu循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為主要的清潔設計方案。

　　二、半導體潔凈車間百級潔凈室FFU過濾器安裝流程

　　1、從運輸包裝箱中小心地取出高效過濾器，查看在運輸過程中是否有任何部件損壞。取下塑料包裝袋，將FFU和高效過濾器放置在清潔的房間內。

　　2、把FFU及高效過濾器安裝在吊頂龍骨上。至少2人在待安裝FFU的吊頂天花上準備，人運送FFU箱體至安裝位置龍骨下，由另外在梯子上的2人托起箱體，箱體與天花呈45度，穿過天花。吊頂天花上的2人應手握FFU把手，接過FFU箱體平放于旁邊的吊頂天花上等候蓋上過濾器。

　　3、梯子上2人接過搬運人員遞過來的高效過濾器，雙手握住高效過濾器邊框，與天花呈45度，穿過天花，過程輕拿輕放，禁止觸碰過濾器表面。吊頂天花2人接過高效過濾器，對齊龍骨四邊平行放下，注意過濾器風向，出風面應朝下。

　　4、把FFU箱體對齊過濾器四周放下，過程輕拿輕放，注意不能讓箱體邊緣觸碰過濾器，根據(jù)廠家提供電路圖和買方的電氣規(guī)章，使用電纜將風機單元連接到適當電壓的電源上。

來源：百級潔凈室FFU施工工藝、要求及流程